实现方式:三轴线性磁轴电机与三轴精密丝杆模组。功 能:支持空间中任意点绕点运动;支持空间中任意点执行任意路径轨迹运动:支持轨迹匀速、变速、轨迹与IO联动等;标定后全局绝对精度:6μm规格参数SA1603驱动及机械特性XYZ有效行程(mm)603030直线度(μm)333最大速度(mm/s)500200100最大加速度(m/s2)151515额定推力(N)201515峰值推力(N)816060额定电流(Arms)0.60.60.6峰值电流(Arms)2.52.52.5推力定数(N/Arms)332424逆起电力定数(Vrms/m/s)118.18.1相间电阻(Ω)433333相间电感(mH)161212磁极间距(N-N )(mm)606