实现方式：三轴线性磁轴电机与三轴精密丝杆模组。功 能：支持空间中任意点绕点运动；支持空间中任意点执行任意路径轨迹运动:支持轨迹匀速、变速、轨迹与IO联动等；标定后全局绝对精度：6μm规格参数SA1603驱动及机械特性XYZ有效行程（mm）603030直线度（μm）333最大速度（mm/s）500200100最大加速度（m/s2）151515额定推力（N）201515峰值推力（N）816060额定电流（Arms）0.60.60.6峰值电流（Arms）2.52.52.5推力定数（N/Arms）332424逆起电力定数（Vrms/m/s）118.18.1相间电阻（Ω）433333相间电感（mH）161212磁极间距（N-N ）（mm)606

产品特点：● 结构紧凑，XYθ可自由组合● 高推力，大扭矩实现高响应性规格参数TP80TP120驱动及机械特性XYθXYθ有效行程20mm20mm20 °20mm20mm60°额定推力/扭矩11.511.50.18Nm12120.4Nm峰值推力/扭矩46460.57Nm40402.0Nm最大速度300mm/s300mm/s720 ° /s300mm/s300mm/s400 °/s最大加速度20m/s220m/s220m/s220m/s220m/s220m/s2最大负载6kg6 kg2.5kg6kg6kg6.8kg传感器信号差分ABZ相差分ABZ相差分ABZ相差分ABZ相差分ABZ相差分ABZ相传感器分辨率0.05μm0.05μm1.77arcsec0.05 μm0.05 μm0.36arcsec双向重复精度±0.15μm±0.15μm± 1.2ar

产品特点：●结构紧凑、功率损耗小●可实现从高速到低速等不同范围的高精度位置控制●采用落齿槽效应棒状直线电机，速度波动小

产品特点：高推力，高速，高应答性，高精度，长行程u构造简单，安装方便u因为动力部非接触，低噪音，寿命长、零维护规格参数SLP15SLP25SLP35分辨率（μm）0.5/0.0505/0.0505/0.05額定推力（N）2075200加速推力次1（N）81300801额定电流※2（A）0.61.32.8加速电流※1（A）2.55.111推力定数（N/A）335673逆起电力定数（V/m/s）111924线间电阻※3（Ω）43156.2线间电感※3（mH）16199磁极（N-N）间距（mm）6090120最大加速度※4（m/s2）3.53.53.5最大速度※4(m/s)3.03.13重复位置定位精度（pm）±0.5±0.5±0.5最大可搬重量（kg）水平放置53