半导体技术的不断发展和晶片的缩小,使得晶片计量设备将精密运动的控制水平不断提高,以确保光学系统元件满足这些苛刻的性能要求。在垂直于运动轴的两个轴上的跳动、钻孔的圆度以及在运动期间和结束时的动力都特别重要。必须具备极低且一致的摩擦力和最佳的移动和稳定性能。设计和制造可靠地达到这种性能水平的机电一体化组件,需要具有高级机电一体化专门技术的可靠精密运动合作伙伴、高性能电机和编码器元件、复杂的微细加工工艺以及轴承系统、特殊材料和制造工艺方面的专业知识。
新设计的精密线性平台机构可以通过使用JukeTM音圈电机和MercuryTM编码器作为核心元件,在Y轴和Z轴上进行跳动调整,以提供卓越的性能。