规格参数	S06			S08
驱动及机械特性	S0610	S0630	S0650	S0810	S0830	S0850
主动轴	X	X	X	X	X	X
有效行程（mm)	10	30	50	10	30	50
直线度(μm）	3	3	3	3	3	3
最大速度（mm/s）	50	200	300	50	200	300
最大加速度（m/s2）	5	5	5	10	10	10
Z向负载能力（N）	10	10	10	20	20	20
移动质量（kg）	0.3	0.35	0.4	0.3	0.35	0.4
总质量（kg）	0.7	0.8	0.9	0.9	1.05	1.2
额定推力（N）	2.3			4.9
峰值推力（N）	9			20
额定电流（Arms）	0.9			1.7
峰值电流（Arms）	3.5			6.7
推力定数（N/Arms）	2.6			2.9
逆起电力定数（Vrms/m/s）	1			1
相间电阻（Ω）	3.6			2.3
相间电感（mH）	0.2			0.3
磁极间距（mm）	24			30
导向类型	带防蠕动系统的交叉滚柱导轨			带防蠕动系统的交叉滚柱导轨
编码器选配件	S06XX-1	S06XX-2	S06xx-B	S08xx-1	S08XX-2	S08xx-B
编码器反馈类型	增量线性编码器	增量线性编码器	绝对编码器	増量线性编码器	増量线性编码器	绝对编玛器
传感器信号	正弦/余弦	差分AB相	BiSS-C	正弦/余弦	差分AB相	BiSS-C
传感器分辨率（nm）	1.2	50	1	1.2	50	1
最小位移量（nm）	10	100	10	10	100	10
双向重复精度（μm）	±0.1	±0.2	±0.1	±0.1	±0.2	±0.1
定位精度（补偿后）（μm）	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2
霍尔传感器选配件	S06xx-x-HA			S08xx-x-HA
主体材料	铝，阳极氧化黑			铝，阳极氧化黑
使用环境温度（℃）	10-40			10-40
电缆线长度	3米			3米